半導體廠晶舟存放機台自動化應用案例

ICP DAS

2 年前

客戶使用泓格的 CAN-205XD 系列 DeviceNet 遠端 I/O 從站模組與 AXP-9051-IoT 可程式自動化控制器 (PAC)，協助 O 牌 PLC 驅動晶舟存放機台中的各個機關，打造全自動化的晶舟存放流程。

案例介紹

此案例客戶主要提供無塵室先進製程的自動化方案，包括自動化的晶舟存放。晶舟為半導體製程中，常被用以保護、運送與儲存晶圓的一種容器，也可說是在儲存及運輸晶圓時的一道安全防護；而晶舟存放機台則如同製程中的轉運站。在此案例中的晶舟存放機台採用先進機器人技術，並整合多種運動和控制軟件技術，達到全自動化的晶舟存放、檢索與追蹤操作。在原架構中，客戶使用 O 牌 PLC 搭配他牌的 I/O 模組時會出現錯誤碼，因此希望能透過泓格的解決方案有效解決此問題。

泓格晶舟存放機台自動化方案

此案例中，客戶以泓格 AXP-9051-IoT 可程式自動化控制器 (PAC) 撰寫驅動程式後，透過 Modbus TCP 通訊協定將資料傳至 O 牌 PLC 與散布在 PLC 中的客製化的泓格 CAN-205XD 系列 I/O 模組，接著再以 Modbus TCP 通訊協定來傳送命令控制晶舟存放機台，並消除錯誤碼的顯示。

其中，晶舟存放機台分為八型與九型，兩種類型分別使用 8 組與 20 組的 CAN-205XD 系列 DeviceNet 遠端 I/O 從站模組，其架構圖如下:

CAN-205XD 系列 DeviceNet DI/O 從站模組遵循 Volume I/II Release 2.0 DeviceNet 規範，能透過標準的 DeviceNet 通訊協定設定 CAN-205XD 系列模組的組態或存取 DI/DO 通道的狀態。CAN-205XD 系列模組本身也提供標準的 EDS (Electronic Data Sheet) 檔案，透過此檔案，CAN-205XD 系列從站模組可快速連接至各廠牌具標準 DeviceNet 的主站設備。CAN-205XD 模組擁有8 / 16通道隔離型 DO 與8 / 16通道隔離型 DI，能被運用在各種不同的架構上，例如：PNP、NPN、TTL、繼電器等。此案例中，CAN-205XD 模組的 DI 通道負責接收命令; DO 通道則可驅動晶舟存放機台的管路電磁閥、切換閥、調壓閥、調速閥、氣壓缸及電動滑台等。泓格特別為客戶修改 CAN-205XD 模組的韌體與 EDS 檔案，並成功消除錯誤碼的顯示。

AXP-9000-IoT 系列可程式自動化控制器 (PAC) 內置 Windows 10 IoT Enterprise 作業系統，並將計算、I/O 和控制介面一併結合至其中。AXP-9000-IoT 系列 PAC 配有 Intel Core i5-8365UE//Intel Atom E3950 CPU、0/1/2/3/6/7個 I/O擴充插槽、以及各種端口，如: 雙千兆網口、VGA、HDMI、USB、 RS-232 和 RS-485 端口。其中，本地 I/O 擴充插槽可搭配泓格的 I-9K、I-97K、e-9K 系列 I/O 模組使用；遠端 I/O 擴充則可連接泓格的 Ethernet 或 RS-485 I/O 模組。此案例中，客戶使用 AXP-9051-IoT PAC 寫入驅動程式後，透過 Modbus TCP 通訊協定傳送命令控制 O 牌 PLC。

泓格產品為此案例帶來的效益

CAN-205XD 系列 I/O 模組為手掌大小的 DeviceNet 從站 I/O 模組，可輕鬆安裝及節省空間，適合放置於小型機台控制系統中。

CAN-205XD 系列 I/O 模組具有輪詢 (Polling) 與位元觸發 (Bit-Strobe) 的 DeviceNet I/O 連線模式，使用者可依案場需求選擇。

AXP-9000-IoT 系列 PAC 內置 CPU 散熱器，可大幅延長設備的使用壽命。

AXP-9000-IoT 系列 PAC 內置 VGA 和 HDMI 端口，可直接連接至常規的顯示器上，使用者使用顯示器、鍵盤和滑鼠即可操作 HMI 或 SCADA，非常便利。

AXP-9000-IoT 系列 PAC 內置 Windows 10 IoT Enterprise 操作系統，同時支援通用 Windows 和傳統 Windows 的應用程序，故在軟體開發時與 Windows 10 有極佳的相容性。

泓格一站式 DeviceNet 產品選購服務

基於 CAN 總線的 DeviceNet 是世界領先的工業自動化網路之一。泓格科技多年來持續在開發DeviceNet 產品，除了推出可搭配泓格 PAC——WinPAC/WinCon/LinCon/I-8000系列主控單元的 DeviceNet 主站設備，也提供各式 DeviceNet 從站設備，包括: PCI 接口卡、閘道器、I/O模組及DeviceNet 解決方案，並協助客戶解決各種 DeviceNet 的技術問題。

I/O 模組與擴充單元(從站設備): CAN-8×24 系列和 CAN-2000D 系列 I/O 模組與擴充單元可將感測器和執行器整合至 DeviceNet 網路中，它們都為標準的 DeviceNet 主接口提供相應的 EDS 檔案。CAN-8×24 系列與 CAN-2000D 系列主要的差別為產品尺寸和擴充能力 ; CAN-8×24 系列適用於集中式控制系統，提供靈活的 I/O 擴充選擇以滿足不同案場的需求 (字符 “x” 代表擴充槽的數量) ; CAN-2000D 系列則適用於分散式控制系統中，是手掌大小的獨立 DeviceNet 從站設備，可放置在狹小的空間內。