半導體產業專用烤箱之溫度控管
使用泓格DALI轉換器(DGW-521)，連接客戶的熱處理系統(Heating System)與DALI溫控器，使客戶的熱風多層爐烤箱，更具節能性以及高穩定性。在手機、平板、大尺寸面板、車用面板等各種不同生產需求下，克服面板溫度製程上的瓶頸，提供面板大廠更具彈性的生產條件。
Introduction
此客戶為台灣半導體產業烤箱設備廠，利用烤箱的光與熱相關技術，提供PCB電路板、FPD面板與觸控、半導體、電子組裝、印刷、塗裝、鞋業等各大產業之高精度生產設備。而此案例則為面板製程之熱風多層爐烤箱的溫度監控實例分享。
嚴苛的製程條件，烤箱溫度成為品質與良率的關鍵因素
在TFT-LCD大尺寸面板製程中，許多塗佈材料須經過烘烤製程，例如：光阻塗佈後預烤、顯影後光阻固烤、配向膜塗佈後預烤(Pre-bake)、配向膜固烤、框膠預烤。在這些程序中，需要進行熱處理，其溫度則越低越好，且針對不同的程序，其適合之溫度也有所差異。例如:清洗後乾燥和光阻塗佈後預烤溫度須為 90~120℃，配向膜塗佈後預烤和彩色濾光片光阻硬化與燒成溫度應在190~250℃間。
為達成上述條件，所採取方式有批量式和單片式電熱板輸送帶(Hot Plate Conveyor)等兩種，過去往往會因為製程的溫度過高，使得UV膠在固化過程中產生黃化現象降低面板透光度，而影響良率；除TFT LCD外，智慧型手機和平板電腦爆發性成長，加上LCD TV、NB、iPad等產品的熱銷，與LTPS、IGZO、OLED、裸視3D、Touch Panel等面板產品的多元化，因此更增添了製程上的複雜度，而烤箱溫度的穩定，則成為品質與良率的關鍵。
ICP DAS DALI閘道器，PLC與DALI燈控模組之間的橋樑
Benefits
結語
過去熱風多層爐烤箱市場為國外廠商所壟斷，此客戶製造的熱風多層爐烤箱，突破長期需要仰賴從國外進口主要設備的困境，且符合提高品質與降低成本的要求，大大提昇台灣光電產業的競爭力，因此該客戶目前是台灣唯一具有Array/CF/Cell加熱設備供應能力的廠商，也是台灣設備廠商TFT LCD唯一的供應商。
泓格長期關注新技術研發，產品項目完整，針對各種不同通訊協定的資訊轉換需求，皆有可對應之產品，因此能夠滿足客戶系統整合所需。從使用者的角度思考，透過大量累積的經驗，泓格科技將持續提供各領域業者完善的產品與服務。
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